工研院與自動光學檢測設備聯盟舉辦「第二十六屆全國AOI論壇與展覽」,邀集產學研及十家業者展示先進半導體、矽光子、材料分析及智慧視覺等技術及產品。圖左起為工研院量測中心副執行長莊凱評、工研院量測中心特聘專家林增耀、臺灣大學機械工程學系教授楊福生、友達光電處長周上傑、德律科技副總林江淮、致茂電子副總鄭子彥、旭東機械工業董事長莊添財、工研院量測中心執行長藍玉屏、中原大學機械工程學系教授章明、欣興電子數位長龔吉富、中央大學機械工程學系教授李朱育、威力工業網絡董事長施作君、原相科技資深處長陳燦林、汎銓科技處長張仕欣、臺灣科技大學先進半導體科技研究所助理教授王逸平。

人工智慧(Artificial Intelligence ; AI)加速進入產品製造產線,面對先進半導體、矽光子等高精度製程對缺陷檢測與量測準確度的要求提升,傳統自動光學檢測(Automatic Optical Inspection;AOI)正結合AI判讀、創新光學設計及邊緣高速運算,擴大智慧檢測的應用範圍。工研院與自動光學檢測設備聯盟(Automatic Optical Inspection Equipment Association;AOIEA),10月1日於新竹陽明交通大學舉辦「第26屆全國AOI論壇與展覽」,聚焦結合AI與AOI技術發展趨勢,並邀集產學研及十家業者展示先進半導體、矽光子、材料分析及智慧視覺等技術及產品。

工研院量測技術發展中心執行長暨AOIEA聯盟會長藍玉屏表示,AOI是製造產線掌握產品品質與製程良率的重要環節,隨著AI快速導入產線,檢測技術也從過去依賴規則與影像比對,進一步朝AI智慧判讀、高精度量測及AI原生應用發展。尤其先進半導體、矽光子等新製程持續朝更小尺寸、更高密度發展,新一代AOI技術朝向更智慧化、高精度及跨域整合方向發展。工研院期盼透過本次全國AOI論壇與展覽,串聯國內產學研各界之研發能量與產業需求,加速智慧檢測技術落地,為臺灣智慧製造與先進製程注入新的技術動能。

本次論壇上午安排三場主題演講,分別由威力工業董事長施作君分享「賦能蘭花產業的光學神經網路邊緣AI與AOI視覺技術的五大核心應用」;欣興電子數位長龔吉富以「AI Native for AOI Leaders」為題,探討AI與AOI的整合發展;汎銓科技行銷業務處處長張仕欣則以「穿透缺陷本質:從微米到原子的材料鑑識技術」,分享先進材料分析與缺陷檢測技術發展。下午則安排四場專題演講,包含工研院、臺灣科技大學、陽明交通大學、中央大學,分享矽光子、光學檢測可靠度分析、大面積高解析度技術及市場發展,以及自動化檢測技術等議題。

論壇現場同步舉辦「AOI專業展」及AOI技術論文發表會,工研院量測中心展示半導體先進檢測技術「FOUP式EUV劑量量測儀」,可在不中斷產線的情況下,即時量測極紫外光微影(Extreme Ultraviolet Lithography;EUV)曝光劑量,檢測效率提升8倍以上。此外,參與論壇的參展業者展示定量相位顯微模組、第三代半導體高速閃頻調光器、EtherCAT PCI Express運動控制卡、AI視覺引導機器人及次世代AI影像量測等技術,涵蓋光學元件、影像量測、運動控制、智慧視覺及半導體製程檢測等應用,呈現AOI技術跨域整合與智慧化發展趨勢。

本次「AOI專業展」參展業者包括新耀光科技、一寶實達、霖思科技、大銀微系統、新亞洲儀器、伯東國際、宇創視覺、馬路科技、台灣脈動、五鈴光學,展示AOI相關光學、視覺、量測、自動化與智慧檢測技術及解決方案。

【新聞小辭典】自動光學檢測設備聯盟(Automatic Optical Inspection Equipment Association;AOIEA)成立於2004年,是凝聚臺灣自動光學檢測(AOI)產業力量的專業產學研平台,每年舉辦AOI論壇與展覽,串聯技術開發者、模組與元件供應者、設備製造者與設備使用者,促進產業需求技術交流。